Estrutura e princípio de trabalho do transmissor de pressão de silício difundido

Composição da estrutura do transmissor de pressão de silício difundido

Desde a saída do sensor de pressãoUPX19é um sinal não padrão, em aplicações práticas, a fim de tornar o sensor universal e facilitar a transmissão e gravação de sinal, o sensor é usado em conjunto com um circuito de entrada de sinal padrão para produzir um sinal padrão. O sensor que produz o sinal padrão neste momento é chamado de transmissor de pressãoUPB13.

Em suma, o transmissor é gradualmente desenvolvido a partir do sensor. O transmissor de pressão de silício difundido estudado neste artigo é composto principalmente por sensor MEMS, cápsula de medição, interface e circuito de processamento (placa de circuito inteligente).

O sensor de pressão e o sensor de temperatura do diodo são embalados na parte superior da cápsula de medição, e o corpo da cápsula é fixado por duas flanges de vedação para formar a parte de medição do transmissor, que é responsável pela conversão do sinal de pressão a ser medido no local de trabalho em um sinal de tensão. Além disso, uma placa de circuito eletrônico, um cabeçalho de display de cristal líquido e um terminal de conexão constituem a parte de exibição, que é responsável por converter a saída do sinal de tensão pelo sensor para 4-20mA através da amplificação, em seguida, saída de um sinal de corrente padrão.

Princípio de trabalho do transmissor de pressão de silício difundido

Baseado no efeito piezoresistivo do silício monocristalino, um componente elástico é fabricado em uma determinada direção no wafer de silício com tecnologia avançada de processamento microelecânico, e quatro resistores sensíveis à força com igual resistência são fabricados pela tecnologia de circuito integrado na posição adequada, que se conecta a uma ponte wheatstone. Uma tensão constante (corrente) é aplicada à ponte, e a pressão medida é transmitida ao chip de silício através do óleo de silicone selado na cápsula de medição sem perda, em seguida, o transmissor produz um sinal de tensão linearmente proporcional à pressão a ser medida, e então o sinal de tensão é amplificado e convertido em um sinal padrão de dois fios através de circuitos eletrônicos.

Resumindo:

Pode-se saber pelo seu princípio de trabalho que o sensor de pressão é uma parte importante do transmissor de pressãoUPB1, e a principal fonte de flutuação de temperatura do transmissor é a deriva de temperatura do sensor de pressão de silício. A pesquisa atual sobre a compensação da deriva de temperatura dos transmissores de pressão de silício também é focada principalmente na parte dos sensores de pressão de silício.

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